改良西（xī）門子法多晶矽還原爐鍾罩自動化清洗係統

隨著信息化技術和（hé）太陽能光伏產業的迅速發展（zhǎn），多晶矽作為集（jí）成電路和太陽能光（guāng）伏發電的基礎原材料，在國內外市場的需求量不斷增加，簡單來（lái）說，多晶矽可以用於製備單晶（jīng）矽，其深加（jiā）工產品廣泛用（yòng）於半導（dǎo）體（tǐ）工業中，作為人工（gōng）智能、自動（dòng）控製、信息處理、光（guāng）矽轉換等（děng）器件的基礎材料。同（tóng）時，由於能（néng）源（yuán）危機和環境保護的要求，全球正積極開發利用可再（zài）生能源，大陽能光伏發電作為（wéi）可再生資源之一備受關注，突顯出著（zhe）多（duō）晶矽在新能源中的重要性；由（yóu）於多晶（jīng）矽產品需（xū）求的多樣化，對多晶矽純度的要求也大不相同，目（mù）前多晶（jīng）矽可以分（fèn）為太陽能級多晶矽（光伏發電）、電（diàn）子級多晶矽（半（bàn）導體集成電路）、區熔級多晶矽（電子級多晶矽的更高端產品）。

改良西（xī）門子法被公認為是多晶矽提純可靠（kào）成熟的工藝技術，同時也（yě）已（yǐ）被國內外絕大多數廠商采用，多晶矽還原爐作為改良西門子法生產（chǎn）多晶矽的核心設備，決定了係統產能、能耗、環保指標以及（jí）可靠性、安（ān）全性的關鍵因（yīn）素。還原（yuán）爐在生（shēng）產過程中，由於還原爐內反應溫度較高，每一輪沉積反（fǎn）應後，在還原爐鍾罩內壁粘附著一些（xiē）雜質，根據多（duō）晶矽生產原理及實（shí）際生產情況分析，鍾罩表麵主要汙染物為無定形矽粉，其次為多晶矽顆粒物、氯矽烷水（shuǐ）解物及部分粉塵（chén）雜質，這些雜質不僅影響多晶矽的品質，還使鍾罩內表麵的熱量反射減少，增（zēng）加電耗，因此，為保障（zhàng）還原爐鍾罩表麵的潔淨度，必須對還原（yuán）爐鍾罩進行清洗及烘幹作業。
 
以往，行業內普遍采用的方法是通過人工加化學藥劑的方式對還（hái）原爐鍾罩進行清（qīng）洗，清洗過程中，人工穿戴好防護服，手持（chí）高壓（yā）水槍噴射到內壁上對附著物依次（cì）進行純水清洗和清洗液清洗，對部分清洗不幹（gàn）淨的部位用酒精擦拭，然後用高溫壓縮空氣進行烘幹。這種清洗方式，存在清（qīng）洗效果不徹底、效率低下、浪費人力的缺陷。並且，還原鍾罩內會有各種有毒有害氣體溢出或殘（cán）留（liú），給清理人員帶來（lái）健康和安全風險，清洗（xǐ）時，稍（shāo）有不慎化學清洗（xǐ）機容易（yì）濺到身上造（zào）成傷（shāng）害。

為解決傳統人工清洗方式帶來（lái）的諸多（duō）危害，德高潔自主研發並曆經四代改（gǎi）進升級還原爐鍾罩（zhào）高壓（yā）水自動化（huà）清洗係統，係統由低壓熱（rè）水清洗動力裝置、三（sān）維洗罐器、旋轉和（hé）升降（jiàng）執行機構、清洗工作台（tái）、萬級淨化幹燥係統、循環過濾係統、控製裝（zhuāng）置、微負壓係統、清（qīng）洗工作（zuò）台、電（diàn）氣控製（zhì）係統等組成，能夠代替人工實現還原爐鍾罩的全自動清洗和烘幹操作。解決（jué）還原爐鍾罩清理過程中存在的效率低、清理效果差、安全隱患等問題，實現自動化高效清（qīng）理的效果（guǒ）。

德高潔多晶矽還原爐鍾罩（zhào）清洗係統是以高壓清洗機為主機，以高壓水射流為動力的自驅動三維旋轉（zhuǎn）噴頭形成360°的（de）網狀高壓水（shuǐ）柱噴射表麵，從而完成鍾（zhōng）罩內部表麵的水力掃射，並采用專用清洗劑等為主（zhǔ）要清洗液，先用脫鹽水預清洗再（zài）依（yī）次用溶（róng）液、脫鹽水漂洗，之後再采用高純水衝洗，從而完成清洗（xǐ）過程，清洗（xǐ）工藝完成後，采用經過（guò）純淨空氣（qì）(萬（wàn）級)烘幹加熱，達到工藝要（yào）求的幹燥度。
 
德高（gāo）潔多晶矽還原爐鍾罩清洗係統自動化程度高，用PLC+觸摸（mō）屏柔性自動控製係統，能實（shí）現對還原爐鍾罩的自動清洗和烘幹，清洗烘幹時間、溫度、清洗、漂洗等工（gōng）藝參數可以根據需要自行調整設定，同（tóng）時具（jù）有半自動（dòng）或手動功能，一次吊裝在（zài）一個工作台上完成（chéng）全部清洗、烘幹（gàn）過程，可實現遠程對（duì）樓下設備的控製和主要參數監控。

全密閉（bì）式（shì）清洗烘幹係統（tǒng），有效防止（zhǐ）清洗時高壓水射流噴射出鍾罩外，使汙染物(廢（fèi）氣、廢水（shuǐ）等)在受控的條件下（xià），按設計（jì）出口排（pái）放，有效避免人員安全（quán）隱患及（jí）環境汙染事故（gù），係統核心部（bù）件均為原裝進口，采用歐洲標準，保證了（le）多晶矽（guī）鍾（zhōng）罩清洗係統性能的（de）可靠，可（kě）以在一套係統實現多種型號鍾罩的清洗烘幹。

為了滿足多晶矽日益（yì）激增的市場需求，保障多（duō）晶矽生產質量，多晶矽企業除了在生（shēng）產能力（lì）和技術上有所提升之外，對多晶矽生產設備的潔淨度也不可忽視，如何（hé）實現多晶矽還原爐鍾罩的高質量清洗，德高潔多晶矽還原爐鍾罩自動化係統一直“靠實力說話”，憑借（jiè）專業團隊、可靠硬件設備（bèi）、合理工藝、自動化技術等（děng）多方麵結合，為用戶提供一套安全、環保、高效、高（gāo）質量（liàng）的多晶矽還原爐鍾罩自動化清洗解決方案。目前，德高潔在多晶矽還原爐清洗行業已（yǐ）擁（yōng）有國內90%的（de）用戶（hù），為多晶矽行（háng）業提供了幾十套還原爐清洗係統。