多晶矽還原爐體及鍾罩幹式清理係（xì）統

一、係統概述
 
多晶矽還原爐體及鍾罩幹式清理係統適用（yòng）矽烷法多晶矽生產工藝，用於還原車間反應釜中（zhōng）矽汙染物附著力（lì）不大的工況條件下無汙染幹式清洗。清洗時（shí）利用上下移動和旋轉機構帶動高（gāo）壓氣體噴吹以及特殊旋（xuán）轉刷組合機構近距離對反應釜（fǔ）表麵進行噴吹和接觸式（shì）清掃達（dá）到清（qīng）洗（xǐ）的目的（de）。通過清洗旋轉調速機構可滿足（zú）各工況的（de）要求。清洗的同時采用特殊除塵淨化器一次性進行除塵淨（jìng）化。

二、係統特點

1、裝置為移動單元式結構；

2、淨化後的空氣可達到10萬級的淨化（huà）精（jīng）度可完（wán）全在室內排放；

3、采用（yòng）全封閉幹式的（de）清洗方式確保對環境不出現二次（cì）汙染；

4、電氣設計按隔爆的各項要求執行、 設備（bèi）設有靜電導出裝置；

5、控製方式可為全自動或手動控製；

6、運行總功（gōng）率小，噪聲低。
 
三、清掃工藝

反應釜吊裝至清洗台上→定位→連（lián）接→啟動淨化器→啟動旋轉→上下移動機構→高壓氣體沿壁噴吹（chuī）→旋轉刷至上而下接觸（chù）移動（dòng）清掃→淨化氣體置換→反應釜吊起→檢（jiǎn）查。

四、設備組成

主要由清洗（xǐ）平台、氣（qì）體噴吹裝置、吸塵輸送管道、控製閥門、動力機構、清（qīng）洗機構、各管道（dào）快速（sù）接頭、除塵淨化器、電氣控製係統等組成。

主（zhǔ）要部件采用進口零部件（jiàn），確保運行可靠穩定、使用周期長。操作（zuò）維修簡單。