德高潔：大型多晶矽還原爐鍾（zhōng）罩內部“去人化環保化”清洗設備

多晶矽是微電子行業、半導體行業、光伏行業的基礎材料，在多晶矽生產過程中（zhōng），還原爐鍾罩表麵上會沉積一定厚度的多晶矽副產物、矽粉等，在下一爐生產時會影響還原爐鍾罩的反射效（xiào）率（lǜ）、產品質量，所以多晶矽棒（bàng）生長（zhǎng）完成並從（cóng）還原爐內拆除完之後，需要對還原爐鍾罩（zhào）內壁進行（háng）清洗烘幹，保證其內部的（de）幹燥潔淨。

在國內多晶矽廠家生產初期，還原爐鍾罩清洗的主要方式是人工清洗，將還原爐鍾罩放到固定位置後，清洗人員配好清洗液，穿戴好全套的防護用品後（hòu），用高（gāo）壓（yā）水槍噴射到內壁上對附著物依（yī）次進行純水清洗和（hé）清洗液清洗，對部分清洗不幹淨的部位用酒精擦拭，再用高溫壓縮空氣進行烘幹。

由於每一個生產周期結束後（hòu）均需要對還原爐鍾罩進行清洗，為保證多晶矽產品的品質，對還原爐（lú）鍾罩內表麵（miàn）的潔淨要求十分苛刻，而對於大型（xíng）還原爐鍾罩來說，采用人工清洗存（cún）在清洗不幹淨、清（qīng）洗的一致性也難以保證、浪費人力的缺陷，且人工配堿和噴洗（xǐ）不安全，稍有不慎堿液（yè）容易濺到（dào）身上造成傷害，如（rú）何減少人工參與（yǔ），實現更安全、環保的清洗方式成為多晶矽還原爐鍾罩內部清洗的難題。

德高潔多晶矽還原（yuán）爐鍾罩（zhào）自動化清洗係統（tǒng），由高壓熱水（shuǐ）清洗係統、熱風淨化（huà）烘（hōng）幹係統、控製係統等組成，係統操作簡單，自動化程度高，整個清洗工藝包含：還原爐鍾罩到位→預清洗→清洗劑(堿液)清洗→漂洗（xǐ）→高壓純水（shuǐ）衝洗→淨化熱空氣幹燥→常（cháng）溫幹燥→鍾罩吊走，全程僅需人工輔助作業，解決傳統（tǒng）人工清洗存在不（bú）安（ān）全（quán），不（bú）環保，清洗效果差，自動化程度（dù）低，效率不高的缺陷。
 
係（xì）統（tǒng）采用密閉式（shì）高壓水射流清洗（xǐ）係統，清洗（xǐ）時三維清洗噴頭（tóu）由高壓熱水動力裝置射出高壓水流作為驅動動力，對（duì）鍾罩表麵形成360度網狀噴射表麵，三維旋轉（zhuǎn）噴頭自由升（shēng）降，因（yīn）此可以全（quán）麵的對鍾罩進行（háng）噴射清洗，清洗時（shí）用專（zhuān）用清洗劑（jì）等為主（zhǔ）要清洗液，用純水(去離子水或叫脫鹽水)漂洗，最後用高純水衝洗完成清洗過程，能夠保證清（qīng）洗（xǐ）的（de）一致（zhì）性和均勻性。

全密閉式（shì）清洗（xǐ）烘（hōng）幹方式使清洗安全（quán）可靠，不汙染環境（jìng），保（bǎo）護人身健康不受危害，清洗後用經過三級淨（jìng）化(10萬級)的純淨空氣，梯（tī）級加熱，保證烘幹完的鍾罩不再結露，可直（zhí）接進入生產作業，有效提高自（zì）動化程度和生產效率。

洗滌後的含酸或堿液（yè）廢水、廢渣，排放到需方指（zhǐ）定處，由需方自行處理，配排汙水(池、槽)溝；清洗（xǐ）和烘幹產生的廢氣做室外排空排放。係統采用PLC+觸（chù）摸屏柔性自動控製係統，實現對還原爐鍾（zhōng）罩的自動清（qīng）洗和烘（hōng）幹同時具有半自動或手動功能，可以在（zài）一套係（xì）統實現多種型號還原（yuán）爐鍾罩的清洗烘幹。
 
德高潔（jié）是一家（jiā）專業（yè）清（qīng）潔（jié）環（huán）保（bǎo）設備供應商，在環保（bǎo）除塵、高（gāo）壓清洗機（jī）、淨化成套（tào）裝（zhuāng）備、工業設備清潔領域已積累了近三十年的（de）業內寶（bǎo）貴經驗，公司擁有20餘人研發團隊，長期服務於國企（qǐ）、軍工、外資、上市公司等500強（qiáng）企業，針對多晶矽還原爐鍾罩的（de）清洗，德高潔可根據（jù）使用（yòng）方不同（tóng）還原爐鍾罩、車（chē）間廠房的情況，能源條件不同，提供個性化設計，目（mù）前，德高潔在多晶矽還原爐清洗行業已擁有國內（nèi）90%的用戶，為多晶矽行業提供了上百套還原爐（lú）清洗（xǐ）係統，並在（zài）北（běi）京、上海（hǎi）、深圳、成都（dōu）、西（xī）安、武漢均設（shè）有（yǒu）分公司及辦事處，服務體係網絡健全，零配件（jiàn）充足。