悶聲幹（gàn）大事！德高潔開啟電子級多晶矽還原爐鍾罩清洗係統新紀元！
時間：2023-03-06 17:05:00作者：LeeZhou來源：德高（gāo）潔清潔設備
電子級多晶矽是我國發展集成電路產業的戰略（luè）原材料，長期以來，生產技術一直由國外壟斷，成為中國發展集（jí）成電路（lù）產（chǎn）業的瓶頸。隨著國內企業的不斷努力，近（jìn）年來國內電子級多晶矽（guī）迎頭趕上，擺脫國外進（jìn）口依賴，在質（zhì）量、產量、出口等方麵（miàn）取得不（bú）錯成績，未來，中（zhōng）國多晶矽生產在全球市場具有（yǒu）良好的發展（zhǎn）前景。
由於（yú）電子級多（duō）晶矽高純度的規格，為（wéi）達（dá）到生產（chǎn）要求，企業不僅（jǐn）在生產（chǎn）工藝（yì）、生產設（shè）備上不斷升（shēng）級，為確保電（diàn）子級多晶矽質量不受更（gèng）多外在因素（sù）影響，對生產環境也近乎達到苛刻的要求，目前電子級多晶（jīng）矽生產的主流（liú）方式是西門子改良法，還原爐作為改良西門子法生產多晶矽的核心設備，是影響多晶矽生產和產能的關鍵因素（sù），任何顆粒性（xìng）雜質、物（wù）料等（děng）物質餘留在爐（lú）內，都會對產（chǎn）品質量造成影響（xiǎng）。
在多晶矽生產過程（chéng）中，多晶矽還原爐鍾罩內壁會被高溫混合氣體燒黑，表麵沉積一定厚度的多晶矽、無定型矽、高矽氯聚物等雜物，導致還原爐內表麵粗糙不平等，影響生產質量、良品率低、生產成（chéng）本上升、生產（chǎn）效率下降，所以在還原爐運行（háng）一個周期（qī）結束（shù）後，必須對（duì）還原鍾罩內部進（jìn）行清洗，確保電子級多晶矽在高純環境下生產。
德（dé）高潔作為一家專（zhuān）業的環保設備供應（yīng）商，早（zǎo）在2009年就研發出多晶矽還（hái）原（yuán）爐清洗係統（tǒng），並經過對客戶的實際應用和需求，充分發揮高壓水清（qīng）洗和吸除（chú）塵的技術優勢，完成了電（diàn）子級多晶矽還（hái）原爐鍾罩清洗係統研發，近年來，德高潔緊跟多（duō）晶矽行業生產腳步，技術也在不斷升級更新，一直保持前沿清洗技術，為多晶矽廠商提（tí）供與電子級多晶矽生（shēng）產技術並駕齊驅配套清洗解決方案，旨（zhǐ）為電子級多（duō）晶矽的高純度生產助（zhù）力。
德高潔電子級多晶矽還原爐鍾罩清洗係統包括低壓熱水清洗動力裝置、三維洗罐器、旋轉和升降（jiàng）執行（háng）機構、清洗工作台、萬級淨化（huà）幹燥係統、循環（huán）過濾係統、控製裝置、微負壓係統、清洗工作台、電氣控製係統等，係統核心部件、元件和附件原（yuán）裝進口，在確保係統運（yùn）行穩定可靠前提下（xià），完（wán）成對電（diàn）子級多晶矽還原（yuán）爐鍾罩的全自動清洗和烘幹操作。
係（xì）統以高壓水射流為動力驅動三維洗罐器，形成360°的網（wǎng）狀噴射表麵，完成鍾罩內部表麵的水力掃射，用氫氧化鈉溶液等為（wéi）主要清洗（xǐ）液，用純水漂洗，用高純水衝洗完成（chéng）清（qīng）洗過程；隨後用經（jīng）過三級淨化(10萬（wàn）級)的純淨空氣，加熱後（hòu）（50~80℃）烘幹（gàn）加熱鍾罩，再逐步降溫到常溫，通過（guò）連續幹燥，完成幹燥過程。
全密閉式清洗烘幹係統，使汙染物（wù）（廢（fèi）氣、廢水（shuǐ）等）在受控的條件下，按設計（jì）出口排放，基本消除了對環境境汙染及現場操作人員的安全隱患。係（xì）統加多處安全（quán）互鎖功能（樓上、樓下操作，缺水保護，超壓保護、漏電保護，水風（fēng）工作互鎖等），確保安全運行。
德高潔（jié）電子級多晶矽鍾（zhōng）罩清洗係統自動化程度高，采用PLC+觸摸屏柔性自動控製係統，能實現（xiàn）對還原爐鍾（zhōng）罩的自動清洗和烘幹，清洗烘幹時（shí）間、溫度、清洗、漂（piāo）洗（xǐ）等工藝參數（shù）可（kě）以根據需要自（zì）行調整設定，同時具有半自動或手動功能，一次吊裝在一個工（gōng）作（zuò）台上完成全部清洗、烘幹過程，可實現遠程對樓（lóu）下設備的控（kòng）製和（hé）主要參數監控。
除此之外，德高潔電子級多晶矽還原爐鍾罩清洗係統可根據客戶需求，結合廠（chǎng）商使用的不同鍾罩、車間廠房的情況（kuàng），能源條件不同，提供個性化（huà）設計。目前，德高（gāo）潔在多晶矽（guī）還（hái）原爐清洗行業已擁（yōng）有國內90%的用戶，為（wéi）多晶矽行業提供了幾（jǐ）十套還原爐清洗係統。
德高潔成立於1994年，在環保除塵、淨化成套裝（zhuāng）備、工業設備（bèi）清潔領域已（yǐ）積累了（le）近三十年的業內寶貴經驗，期間自主研發並生（shēng）產了一係列高壓清洗機（120~2800bar）、自動化清洗係統、智能清洗爬壁機器（qì）人（rén）等，公（gōng）司擁有20餘人研發團隊（duì），旗下部署工藝組、技（jì）術組、質檢組，實時管控產品性能（néng）、質量，並通過ISO9001質量體係（xì）認證。長（zhǎng）期服（fú）務於國（guó）企、軍工（gōng）、外資、上市公（gōng）司等500強企（qǐ）業（yè），德高（gāo）潔將繼續以客戶（hù）需求為基準，用現代技術、標準工藝，竭誠（chéng）為客戶服務。
由於（yú）電子級多（duō）晶矽高純度的規格，為（wéi）達（dá）到生產（chǎn）要求，企業不僅（jǐn）在生產（chǎn）工藝（yì）、生產設（shè）備上不斷升（shēng）級，為確保電（diàn）子級多晶矽質量不受更（gèng）多外在因素（sù）影響，對生產環境也近乎達到苛刻的要求，目前電子級多晶（jīng）矽生產的主流（liú）方式是西門子改良法，還原爐作為改良西門子法生產多晶矽的核心設備，是影響多晶矽生產和產能的關鍵因素（sù），任何顆粒性（xìng）雜質、物（wù）料等（děng）物質餘留在爐（lú）內，都會對產（chǎn）品質量造成影響（xiǎng）。
在多晶矽生產過程（chéng）中，多晶矽還原爐鍾罩內壁會被高溫混合氣體燒黑，表麵沉積一定厚度的多晶矽、無定型矽、高矽氯聚物等雜物，導致還原爐內表麵粗糙不平等，影響生產質量、良品率低、生產成（chéng）本上升、生產（chǎn）效率下降，所以在還原爐運行（háng）一個周期（qī）結束（shù）後，必須對（duì）還原鍾罩內部進（jìn）行清洗，確保電子級多晶矽在高純環境下生產。
德（dé）高潔作為一家專（zhuān）業的環保設備供應（yīng）商，早（zǎo）在2009年就研發出多晶矽還（hái）原（yuán）爐清洗係統（tǒng），並經過對客戶的實際應用和需求，充分發揮高壓水清（qīng）洗和吸除（chú）塵的技術優勢，完成了電（diàn）子級多晶矽還（hái）原爐鍾罩清洗係統研發，近年來，德高潔緊跟多（duō）晶矽行業生產腳步，技術也在不斷升級更新，一直保持前沿清洗技術，為多晶矽廠商提（tí）供與電子級多晶矽生（shēng）產技術並駕齊驅配套清洗解決方案，旨（zhǐ）為電子級多（duō）晶矽的高純度生產助（zhù）力。
德高潔電子級多晶矽還原爐鍾罩清洗係統包括低壓熱水清洗動力裝置、三維洗罐器、旋轉和升降（jiàng）執行（háng）機構、清洗工作台、萬級淨化（huà）幹燥係統、循環（huán）過濾係統、控製裝置、微負壓係統、清洗工作台、電氣控製係統等，係統核心部件、元件和附件原（yuán）裝進口，在確保係統運（yùn）行穩定可靠前提下（xià），完（wán）成對電（diàn）子級多晶矽還原（yuán）爐鍾罩的全自動清洗和烘幹操作。
係（xì）統以高壓水射流為動力驅動三維洗罐器，形成360°的網（wǎng）狀噴射表麵，完成鍾罩內部表麵的水力掃射，用氫氧化鈉溶液等為（wéi）主要清洗（xǐ）液，用純水漂洗，用高純水衝洗完成（chéng）清（qīng）洗過程；隨後用經（jīng）過三級淨化(10萬（wàn）級)的純淨空氣，加熱後（hòu）（50~80℃）烘幹（gàn）加熱鍾罩，再逐步降溫到常溫，通過（guò）連續幹燥，完成幹燥過程。
全密閉式清洗烘幹係統，使汙染物（wù）（廢（fèi）氣、廢水（shuǐ）等）在受控的條件下，按設計（jì）出口排放，基本消除了對環境境汙染及現場操作人員的安全隱患。係（xì）統加多處安全（quán）互鎖功能（樓上、樓下操作，缺水保護，超壓保護、漏電保護，水風（fēng）工作互鎖等），確保安全運行。
德高潔（jié）電子級多晶矽鍾（zhōng）罩清洗係統自動化程度高，采用PLC+觸摸屏柔性自動控製係統，能實現（xiàn）對還原爐鍾（zhōng）罩的自動清洗和烘幹，清洗烘幹時（shí）間、溫度、清洗、漂（piāo）洗（xǐ）等工藝參數（shù）可（kě）以根據需要自（zì）行調整設定，同時具有半自動或手動功能，一次吊裝在一個工（gōng）作（zuò）台上完成全部清洗、烘幹過程，可實現遠程對樓（lóu）下設備的控（kòng）製和（hé）主要參數監控。
除此之外，德高潔電子級多晶矽還原爐鍾罩清洗係統可根據客戶需求，結合廠（chǎng）商使用的不同鍾罩、車間廠房的情況（kuàng），能源條件不同，提供個性化（huà）設計。目前，德高（gāo）潔在多晶矽（guī）還（hái）原爐清洗行業已擁（yōng）有國內90%的用戶，為（wéi）多晶矽行業提供了幾（jǐ）十套還原爐清洗係統。
德高潔成立於1994年，在環保除塵、淨化成套裝（zhuāng）備、工業設備（bèi）清潔領域已（yǐ）積累了（le）近三十年的業內寶貴經驗，期間自主研發並生（shēng）產了一係列高壓清洗機（120~2800bar）、自動化清洗係統、智能清洗爬壁機器（qì）人（rén）等，公（gōng）司擁有20餘人研發團隊（duì），旗下部署工藝組、技（jì）術組、質檢組，實時管控產品性能（néng）、質量，並通過ISO9001質量體係（xì）認證。長（zhǎng）期服（fú）務於國（guó）企、軍工（gōng）、外資、上市公（gōng）司等500強企（qǐ）業（yè），德高（gāo）潔將繼續以客戶（hù）需求為基準，用現代技術、標準工藝，竭誠（chéng）為客戶服務。
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