電子級多晶矽成就集成電路發（fā）展之路，助力“中（zhōng）國芯”迎來發展新征（zhēng）程
時間：2023-01-12 15:18:00作者：LeeZhou來源：德高潔清（qīng）潔設備
集成電路俗稱“芯片（piàn）”，是信息發展的（de）基礎內容，也是我國戰略發展的支持性產業，是現在所（suǒ）有電子產品(包括汽車、手機（jī）等)的核心組成（chéng）部分，被廣（guǎng）泛應用到消費電子、汽車電子、5G網絡、計算機、數據物聯、雲計算等多個領域（yù），它是軟（ruǎn）件產品（pǐn）的重要載體，也是（shì）信息（xī）產（chǎn）品硬件中重要基礎之一。
電子級多晶矽用（yòng）於生（shēng）產半導體材料，主要用於電子設備，芯片（piàn）上用的比（bǐ）較多，作為集成電路產業發展中的主要材料，在（zài）電子信息領域有著非常廣泛的應用，隨著我國集成電路的發展，電子級多晶矽（guī）的需求量在不斷的提升，產品純（chún）度也（yě）已經達到目前人類技（jì）術（shù）水平的極限，對生產製（zhì）造技術的要求極高。相（xiàng）對於光（guāng）伏產業所用（yòng）太陽（yáng）能級多晶矽99.9999%純度，電子級多晶矽的純度要（yào）求高達99.999999999%，相當於5000噸的電子級多晶矽中總的雜質含量相當於一枚1元硬幣的重量。
但在過去相當長一段時間內（nèi），全球範圍內能夠生產電子級多晶矽產品的隻是（shì）少數企業，且關鍵技術主要掌握在德國、日（rì）本和美國為首的企業手中。我國經過多年艱辛的努（nǔ）力，跨越多（duō）種技（jì）術關卡、長時間的試驗，逐漸成為全球首位多晶矽生產地，實現電子（zǐ）級多晶（jīng）矽“中國造”，集成（chéng）電路用高純電子級多晶矽國產化（huà）的突破（pò），對我國集成電路產業的發展起到了至關重要的戰略意義，進一步推動了“中國芯”的發展進程，而（ér）在電子級多晶矽逐漸國產化的趨勢下，電子級多晶矽生產企業需（xū）要加強對產品品質的保障，提（tí）升工業效率、優化（huà）生（shēng）產（chǎn）工藝來推（tuī）動集成電路產業的持續發展。
對純度要求如此之高的電（diàn）子級多晶矽，其（qí）在（zài）對生產環境的潔淨度要求也極為苛刻，我國（guó）多晶矽生產工藝中以改良西門子法工（gōng）藝為主要技（jì）術形式，在（zài）還原（yuán）爐內進行化學氣相沉積，因此，對還原爐（lú）的沉積環境潔淨度要求特別關鍵，任何顆粒性雜質、粉塵、油（yóu）脂等（děng）物質餘留在爐內，都會（huì）對（duì）產（chǎn）品質（zhì）量造成影響，還原爐鍾罩汙染物易造成內表麵熱量反射減少，使生產能耗增加；所以需要在一個運（yùn）行周期後對（duì）還原爐進行清洗。
麵對電子（zǐ）級多晶矽高純（chún）度的需求，傳統（tǒng）人（rén）工清洗還原爐鍾罩的方式（shì），因效率低、工作強度大、具備一（yī）定安全隱患的（de）原因早已成為時（shí）代的眼淚，德高潔自主研（yán）發並（bìng）投入使用了一（yī）款自動化多晶矽還原爐鍾罩清洗（xǐ）係統，並經曆多次不斷升級，已基（jī）本滿足不同多晶矽（guī）企業（yè）對還原爐的清洗（xǐ）需求，且（qiě）經（jīng）過（guò）實際投入使用中證明，經德高潔電子級多晶矽還原爐鍾罩清洗係（xì）統清洗後，多晶矽還原爐鍾罩表麵呈（chéng）現（xiàn）“無油、無（wú）水、無塵”狀態，多晶矽（guī）純度有著明顯（xiǎn）的提升。目前德高潔（jié）已（yǐ）為全國90%的多晶矽行業提供多達幾十套自動化（huà）多（duō）晶矽還（hái）原爐清（qīng）洗係（xì）統。
德高潔電子（zǐ）級多晶矽還原爐鍾罩自動化清（qīng）洗係統包括低壓熱水清洗動力裝置、三維（wéi）洗罐器、旋轉和升降執行（háng）機構、清洗工作台、萬（wàn）級淨化幹燥係統、循（xún）環過濾係統、控製裝置、微負壓係統、清洗工作台、電氣控製係統等，係統實現了鍾罩的（de）全自動清（qīng）洗和烘幹操（cāo）作。
以水力自（zì）驅動三維自動旋轉（zhuǎn）噴頭，形成360°的網狀噴射表（biǎo）麵，完成鍾罩內部表麵的水力掃（sǎo）射，用專用清洗劑等為主要清洗液，用純（chún）水(去離子水或叫脫鹽水)漂洗，用高純水（shuǐ）衝洗，完成清洗過程。其後用經過三級淨化(10萬級)的純淨（jìng）空（kōng）氣，梯級加熱，保（bǎo）證烘幹完的鍾罩不再（zài）結露，可直接進入生產作業。
采用全密閉式清洗（xǐ）烘幹係統（tǒng），使汙染物(廢氣、廢水等)在受（shòu）控的條件下，按設計出口排放，基（jī）本消除了對現場及操作（zuò）人員的汙染；係統核心部件、元件（jiàn）及附件均選用德高潔（jié）合作多年的歐美廠商，確（què）保係統（tǒng）設備的可靠性；可根據使用方不同還原爐鍾罩、車間廠房的情況，能源條（tiáo）件不同，提供個性化設計，以滿（mǎn）足不同多晶矽生產企（qǐ）業的清洗（xǐ）需求，是一套安全、高效、環保、自動化程度高的電子級多晶（jīng）矽還原爐鍾罩清洗解決方案。
電子級多晶矽（guī）是電子工（gōng）業生產中的重要內容，企業要想持續、穩定的生產高純電子級多晶矽，滿足下遊企業對電子級多晶（jīng）矽材料的質量需求，需要從（cóng）多晶矽生產全流程各個工序嚴格控製，將（jiāng）各（gè）種可能造成多晶矽質量問題因素降到最小值，這其中避免不了對還原爐鍾罩（zhào）的清洗，並（bìng）在（zài）操作（zuò）過程中進一步做到精益操作（zuò）和精細化操作，改變不良習慣，提升管理（lǐ）水（shuǐ）平，才有可能在電子級多晶矽市（shì）場上占有一席之（zhī）地。
電子級多晶矽用（yòng）於生（shēng）產半導體材料，主要用於電子設備，芯片（piàn）上用的比（bǐ）較多，作為集成電路產業發展中的主要材料，在（zài）電子信息領域有著非常廣泛的應用，隨著我國集成電路的發展，電子級多晶矽（guī）的需求量在不斷的提升，產品純（chún）度也（yě）已經達到目前人類技（jì）術（shù）水平的極限，對生產製（zhì）造技術的要求極高。相（xiàng）對於光（guāng）伏產業所用（yòng）太陽（yáng）能級多晶矽99.9999%純度，電子級多晶矽的純度要（yào）求高達99.999999999%，相當於5000噸的電子級多晶矽中總的雜質含量相當於一枚1元硬幣的重量。
但在過去相當長一段時間內（nèi），全球範圍內能夠生產電子級多晶矽產品的隻是（shì）少數企業，且關鍵技術主要掌握在德國、日（rì）本和美國為首的企業手中。我國經過多年艱辛的努（nǔ）力，跨越多（duō）種技（jì）術關卡、長時間的試驗，逐漸成為全球首位多晶矽生產地，實現電子（zǐ）級多晶（jīng）矽“中國造”，集成（chéng）電路用高純電子級多晶矽國產化（huà）的突破（pò），對我國集成電路產業的發展起到了至關重要的戰略意義，進一步推動了“中國芯”的發展進程，而（ér）在電子級多晶矽逐漸國產化的趨勢下，電子級多晶矽生產企業需（xū）要加強對產品品質的保障，提（tí）升工業效率、優化（huà）生（shēng）產（chǎn）工藝來推（tuī）動集成電路產業的持續發展。
對純度要求如此之高的電（diàn）子級多晶矽，其（qí）在（zài）對生產環境的潔淨度要求也極為苛刻，我國（guó）多晶矽生產工藝中以改良西門子法工（gōng）藝為主要技（jì）術形式，在（zài）還原（yuán）爐內進行化學氣相沉積，因此，對還原爐（lú）的沉積環境潔淨度要求特別關鍵，任何顆粒性雜質、粉塵、油（yóu）脂等（děng）物質餘留在爐內，都會（huì）對（duì）產（chǎn）品質（zhì）量造成影響，還原爐鍾罩汙染物易造成內表麵熱量反射減少，使生產能耗增加；所以需要在一個運（yùn）行周期後對（duì）還原爐進行清洗。
麵對電子（zǐ）級多晶矽高純（chún）度的需求，傳統（tǒng）人（rén）工清洗還原爐鍾罩的方式（shì），因效率低、工作強度大、具備一（yī）定安全隱患的（de）原因早已成為時（shí）代的眼淚，德高潔自主研（yán）發並（bìng）投入使用了一（yī）款自動化多晶矽還原爐鍾罩清洗（xǐ）係統，並經曆多次不斷升級，已基（jī）本滿足不同多晶矽（guī）企業（yè）對還原爐的清洗（xǐ）需求，且（qiě）經（jīng）過（guò）實際投入使用中證明，經德高潔電子級多晶矽還原爐鍾罩清洗係（xì）統清洗後，多晶矽還原爐鍾罩表麵呈（chéng）現（xiàn）“無油、無（wú）水、無塵”狀態，多晶矽（guī）純度有著明顯（xiǎn）的提升。目前德高潔（jié）已（yǐ）為全國90%的多晶矽行業提供多達幾十套自動化（huà）多（duō）晶矽還（hái）原爐清（qīng）洗係（xì）統。
德高潔電子（zǐ）級多晶矽還原爐鍾罩自動化清（qīng）洗係統包括低壓熱水清洗動力裝置、三維（wéi）洗罐器、旋轉和升降執行（háng）機構、清洗工作台、萬（wàn）級淨化幹燥係統、循（xún）環過濾係統、控製裝置、微負壓係統、清洗工作台、電氣控製係統等，係統實現了鍾罩的（de）全自動清（qīng）洗和烘幹操（cāo）作。
以水力自（zì）驅動三維自動旋轉（zhuǎn）噴頭，形成360°的網狀噴射表（biǎo）麵，完成鍾罩內部表麵的水力掃（sǎo）射，用專用清洗劑等為主要清洗液，用純（chún）水(去離子水或叫脫鹽水)漂洗，用高純水（shuǐ）衝洗，完成清洗過程。其後用經過三級淨化(10萬級)的純淨（jìng）空（kōng）氣，梯級加熱，保（bǎo）證烘幹完的鍾罩不再（zài）結露，可直接進入生產作業。
采用全密閉式清洗（xǐ）烘幹係統（tǒng），使汙染物(廢氣、廢水等)在受（shòu）控的條件下，按設計出口排放，基（jī）本消除了對現場及操作（zuò）人員的汙染；係統核心部件、元件（jiàn）及附件均選用德高潔（jié）合作多年的歐美廠商，確（què）保係統（tǒng）設備的可靠性；可根據使用方不同還原爐鍾罩、車間廠房的情況，能源條（tiáo）件不同，提供個性化設計，以滿（mǎn）足不同多晶矽生產企（qǐ）業的清洗（xǐ）需求，是一套安全、高效、環保、自動化程度高的電子級多晶（jīng）矽還原爐鍾罩清洗解決方案。
電子級多晶矽（guī）是電子工（gōng）業生產中的重要內容，企業要想持續、穩定的生產高純電子級多晶矽，滿足下遊企業對電子級多晶（jīng）矽材料的質量需求，需要從（cóng）多晶矽生產全流程各個工序嚴格控製，將（jiāng）各（gè）種可能造成多晶矽質量問題因素降到最小值，這其中避免不了對還原爐鍾罩（zhào）的清洗，並（bìng）在（zài）操作（zuò）過程中進一步做到精益操作（zuò）和精細化操作，改變不良習慣，提升管理（lǐ）水（shuǐ）平，才有可能在電子級多晶矽市（shì）場上占有一席之（zhī）地。
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